质谱测漏的多种方式

编/杨文亮

一、氢气检漏简介

使用5%的氢气和95%氮气的混和气作为示踪气体进行检漏，称作氢氮混和气检漏法，或氢气检漏法。无论是在漏点定位还是在泄漏测试应用，这种检漏方法已经在各个行业领域内得到了广泛使用。这种低浓度的氢氮混和气无毒且无腐蚀，不可燃，没有危险性。其价格非常低廉，很容易在各个气体供应商处购得。氢氮混和气检漏技术可以检出低至5*10-7mbar/s的泄漏，相当于0.1g/y。其气体使用成本仅是氦气的1/10到1/20。是检漏技术的发展趋势。

氢作为检漏使用的示踪元素，有着很多独一无二的优点。氢是自然界中分子量最小，最轻的元素，氢气也是所有气体中最轻的。由于氢分子移动速度都要高于其他分子，因此使用安全的低浓度氢气作为示踪气体，可以有着更快的响应速度和更好的检漏精度。另外，氢气分子的扩散性是所有元素中最佳的，因此使用氢氮混和气检 漏法不需要很高要求的本底环境，无需象氦气检漏一样设置专用的检漏室。

二、氦检漏技术简介

1、真空箱式氦检法

■ 在待检工件中充入高压氮气并保压，由系统的压力传感器确认是否有大漏

■ 真空箱抽真空至设定压力；

■ 工件抽真空；

■ 工件充注氦气；

■ 氦检漏仪检测真空箱中氦浓度的变化值。

2、吸枪式氦检法
 

■ 在待检工件中充入高压氮气并保压，由系统的压力传感器确认是否有大漏；

■ 工件抽真空；

■ 工件充注氦气；

■ 用吸入器探头逐个扫描可能的漏点，观察氦浓度值的变化来寻找漏孔的位置。

3、氦罩式氦检法
 

■ 在待检工件中充入高压氮气并保压，由系统的压力传感器确认是否有大漏；

■ 用金属罩罩住待检工件；

■ 金属罩抽真空；

■ 工件抽真空；

■ 金属罩充注氦气；

■ 氦检漏仪检测金属罩中氦浓度的变化值；

三、真空系统测漏方法 

1、保压测漏法

步骤:

（1）在完成的系统管路中前后设立隔离阀及压力计。

（2）向系统通入氮气(N2)，加压至预设的保压压力，一般30~60psi 。之后，关闭前后隔离阀，并解除隔离阀系统外的压力。

（3）观察系统的压力计指示并作记号。

（4）保持状况约1小时以上(时间长短，视系统大小及需求漏率而定。

（5）看压力计的指示是否有下降，以测定有无泄漏。

缺点:

（1）仅能作为初步的测漏参考。

（2）费时。

（3）常因系统温差而不准。

2、测漏液测漏法

使用较稠性的液体如肥皂水等，涂抹于待测件上，观察是否产生泡沫的方式，有现成品检漏液。

步骤:

（1）向待测系统注入氮气加压约30~60psi。

（2）将测漏液喷于预测可能漏气的组件或接合处。

（3）观察有无气泡产生，其气泡之大小将依漏率而定。

（4）将测漏液擦干。

缺点:

（1）初略的测漏

（2）检漏液可能污染管件，测漏液若不擦拭干净易导致管件生锈。

3、氦气测漏法

（1）负压法:

①封闭待测管路系统，一端与氦气测漏仪连接。

②按照氦气测漏仪使用方法操作，使待测管路系统抽气成目标测试真空度。

③向管路系统，由上而下对欲测点喷氦气，并看测漏仪的反应(指针指示或警报)。

注: 若某一处显示泄漏，为了再次确认，可用真空封土糊于其上再重复测试。

（2）正压法:

①按使用方法起动氦气测漏仪，并建立一定的真空。

②向待测系统管路注入氦气，加压至30 ~ 60 psi。

③将检漏仪探头置于待测管件处侦测泄漏。